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成果(guo)93：超(chao)精密導軌(gui)及空氣(qi)靜壓軸承(cheng)技術

【所屬領域】關(guan)鍵零部(bu)件

【中央企業名稱】中國通用(yong)技術（集團）控股有限責任公司

【成果簡介 】

本成果面向超精(jing)密(mi)加工技(ji)術與裝(zhuang)(zhuang)備(bei)需求，對(dui)兩(liang)類(lei)超精(jing)密(mi)關鍵功(gong)能(neng)部(bu)件技(ji)術產(chan)品展(zhan)開攻(gong)堅。開展(zhan)了多孔質節(jie)流雙半球(qiu)氣(qi)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)軸承設計、制造(zao)及裝(zhuang)(zhuang)配(pei)工藝技(ji)術研(yan)究(jiu)，掌握了超精(jing)密(mi)氣(qi)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)主(zhu)軸伺服(fu)控制技(ji)術。發明了一種全約束式超精(jing)密(mi)液(ye)(ye)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)導軌單元(yuan)結構，突破了雙膜片節(jie)流型靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)滑塊設計技(ji)術，掌握了液(ye)(ye)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)導軌裝(zhuang)(zhuang)配(pei)工藝和伺服(fu)控制技(ji)術。本成果技(ji)術難(nan)度大、創新性強(qiang)，自主(zhu)研(yan)制的超精(jing)密(mi)氣(qi)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)主(zhu)軸和液(ye)(ye)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)導軌總體(ti)上達到國際先(xian)進(jin)水平，其(qi)中液(ye)(ye)體(ti)靜(jing)(jing)(jing)(jing)壓(ya)導軌全行程直線度指標達到國際領先(xian)水平。

【主要指標】

（一）主軸回轉精度：≤25nm

（二）主(zhu)軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應(ying)用(yong)推廣方式：銷售、轉讓、合(he)作實(shi)施、其(qi)他

（二）應用推(tui)廣領域：航(hang)空航(hang)天(tian)、光(guang)學、半(ban)導體(ti)、消費(fei)電子等領域中精密(mi)光(guang)學元件、復(fu)雜結構件的超精密(mi)生產制(zhi)造(zao)與檢測。?

【成果圖片】

【聯系人】

集(ji)團聯系(xi)人：孫慕瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果聯系人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】