薄膜壓力傳感器
文章來源：中國電子科(ke)技集團(tuan)有限公司 發布時間：2024-05-20
39.薄膜壓力傳感(gan)器(qi)
【所(suo)屬領域】核心(xin)電子元器件
【中央企業名稱(cheng)】中國電(dian)子科(ke)技集(ji)團有限公(gong)司
【成果(guo)簡介(jie)】項目產品技術(shu)具有(you)完全自有(you)知識產權(quan)，48所1986年創作性(xing)提出采(cai)用離子束濺(jian)射(she)(she)技術(shu)制(zhi)造薄膜壓力(li)傳感器(qi)的技術(shu)路線，該路線與國外(wai)普遍采(cai)用的磁控濺(jian)射(she)(she)比較，具有(you)膜層粘附力(li)強，致密、均勻等(deng)特點，是先(xian)進(jin)的薄膜制(zhi)備(bei)工藝路線。薄膜壓力(li)傳感器(qi)廣泛應用于(yu)航空、航天、石油、船舶等(deng)領域，具有(you)高可靠、大(da)量程、耐惡劣環境等(deng)特點。如：柴油發(fa)(fa)動機油軌(gui)壓力(li)監測、高精度(du)大(da)量程氣壓監測等(deng)。產品技術(shu)成熟(shu)度(du)高，已經在(zai)包(bao)括飛船、商用衛(wei)星、導彈、火箭、飛機、航空發(fa)(fa)動機、戰車、船舶等(deng)裝備(bei)中得到廣泛應用。
【主要指標】
1.精度：≤0.2%FS
2.靈敏度：≥1.5mV/V
3.過載(zai)壓(ya)力(li)：200%FS
4.熱零點(dian)漂移：≤0.01%FS
5.熱(re)靈敏度漂移：≤0.015%FS
6.絕(jue)緣強度：≥200MΩ/500V
【應用推廣需求】
1.應用推廣方式：銷售
2.應用推廣領(ling)域：航空、石油、化工、鋼鐵(tie)、高鐵(tie)、船舶等。
【成果圖片】
【聯系人】
集團聯系人：丁一牧，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com
成(cheng)果(guo)聯系人：鄒書怡，13591325115，zousy@cs48.com
【責任編輯：家正】
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