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成(cheng)果93：超精密導(dao)軌及空氣(qi)靜壓軸承技術

【所屬領域】關鍵零部件

【中央企業(ye)名稱】中國通用技術（集(ji)團(tuan)）控(kong)股有限責任(ren)公(gong)司

【成果簡介 】

本(ben)成果(guo)面向超(chao)精(jing)密(mi)(mi)加(jia)工(gong)技(ji)(ji)術與(yu)裝(zhuang)備需求，對(dui)兩類超(chao)精(jing)密(mi)(mi)關(guan)鍵功能部(bu)件技(ji)(ji)術產品展開攻堅。開展了多孔質節流(liu)雙(shuang)半(ban)球氣體靜(jing)壓軸承設計、制造(zao)及裝(zhuang)配工(gong)藝技(ji)(ji)術研究，掌握(wo)了超(chao)精(jing)密(mi)(mi)氣體靜(jing)壓主軸伺服(fu)控制技(ji)(ji)術。發明(ming)了一種全約束式超(chao)精(jing)密(mi)(mi)液體靜(jing)壓導軌(gui)單元結構，突破了雙(shuang)膜(mo)片節流(liu)型靜(jing)壓滑塊設計技(ji)(ji)術，掌握(wo)了液體靜(jing)壓導軌(gui)裝(zhuang)配工(gong)藝和伺服(fu)控制技(ji)(ji)術。本(ben)成果(guo)技(ji)(ji)術難度大(da)、創新(xin)性強，自主研制的超(chao)精(jing)密(mi)(mi)氣體靜(jing)壓主軸和液體靜(jing)壓導軌(gui)總體上達到國際(ji)先進水平，其中液體靜(jing)壓導軌(gui)全行程直線度指(zhi)標達到國際(ji)領先水平。

【主要指標】

（一）主軸回轉(zhuan)精度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三(san)）導軌直線(xian)度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應用推廣方式：銷售、轉讓、合作實施、其他

（二）應用推廣領(ling)域(yu)：航空航天、光(guang)學、半(ban)導體(ti)、消費電子等領(ling)域(yu)中精密(mi)光(guang)學元件(jian)(jian)、復雜結構(gou)件(jian)(jian)的(de)超精密(mi)生產制造與(yu)檢測。?

【成果圖片】

【聯系人】

集(ji)團聯系人：孫慕(mu)瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果聯系(xi)人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】