MEMS氣體傳感器
文章來源：中國兵器工業集團有限(xian)公(gong)司 發布時(shi)間(jian)：2024-05-20
9.MEMS氣體傳感器
【所屬領域】核心電子(zi)元器件(jian)
【中央企業(ye)(ye)名(ming)稱(cheng)】中國兵器工(gong)業(ye)(ye)集團(tuan)有限(xian)公司
【成果簡(jian)介】MEMS氣(qi)(qi)(qi)(qi)體傳(chuan)感(gan)器(qi)適用(yong)(yong)于(yu)室(shi)(shi)內(nei)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)質(zhi)量監測、手機、電腦等(deng)(deng)消(xiao)費類電子產品應(ying)(ying)用(yong)(yong)檢測空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)質(zhi)量；也(ye)適用(yong)(yong)于(yu)呼出氣(qi)(qi)(qi)(qi)體檢測儀、室(shi)(shi)內(nei)煙霧報警等(deng)(deng)。MEMS氣(qi)(qi)(qi)(qi)體傳(chuan)感(gan)器(qi)利用(yong)(yong)MEMS工藝在硅基襯底上制作微(wei)熱板，所使用(yong)(yong)的氣(qi)(qi)(qi)(qi)敏材料是在清(qing)潔空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)電導率(lv)較低的金(jin)屬氧化物(wu)半導體材料。當傳(chuan)感(gan)器(qi)所處存在氣(qi)(qi)(qi)(qi)體環境中(zhong)時，傳(chuan)感(gan)器(qi)的電導率(lv)隨(sui)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)被檢測氣(qi)(qi)(qi)(qi)體的濃度而發生(sheng)改變。該氣(qi)(qi)(qi)(qi)體的濃度越(yue)高(gao)，傳(chuan)感(gan)器(qi)的電導率(lv)就(jiu)越(yue)高(gao)。使用(yong)(yong)簡(jian)單(dan)的電路即可將(jiang)電導率(lv)的變化轉換為與該氣(qi)(qi)(qi)(qi)體濃度相對應(ying)(ying)的輸出信號。本產品采用(yong)(yong)MEMS工藝，結構堅固(gu)，抗震(zhen)性(xing)(xing)好；具有(you)尺寸小、功耗低、靈(ling)敏度高(gao)、響應(ying)(ying)恢復快、驅動電路簡(jian)單(dan)、穩定性(xing)(xing)好、壽命長等(deng)(deng)優點。技(ji)術成熟度9級(ji)。
【主要指標】
1.加(jia)熱電阻：88Ω±5Ω
2.加熱功耗：≤50mW
3.敏感體表面電阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙(yi)醇）
4.靈敏度：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0
【應用推廣需求】
1.應用推廣方式：銷(xiao)售、轉(zhuan)讓
2.應用(yong)推廣領域：可在(zai)白電(dian)、消(xiao)費電(dian)子(zi)、環境(jing)監測等行業應用(yong)推廣。
【成果圖片】
【聯系人】
集團聯系人：左睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯系人：朱(zhu)震星，18662470410，xing_1018@126.com
【責任編輯：家正】
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