文章來源：有(you)研科(ke)技集團(tuan)有(you)限公司 發布時(shi)間：2022-01-12
摘要：有研半(ban)導(dao)體材(cai)料有限(xian)公司（簡稱“有研半(ban)導(dao)體”）是我國最早從事(shi)半(ban)導(dao)體硅(gui)材(cai)料研發及產業化的單位，擁有業內最齊全的半(ban)導(dao)體硅(gui)材(cai)料產品。
作為(wei)國(guo)內唯一一家(jia)(jia)從事半(ban)導體硅材料(liao)研(yan)發(fa)、生產(chan)和(he)銷售的(de)央企單位(wei)，有研(yan)半(ban)導體始終以服務(wu)國(guo)家(jia)(jia)、服務(wu)社會為(wei)大局，積極響應國(guo)家(jia)(jia)戰略需求，為(wei)支撐和(he)推動我國(guo)集成(cheng)電路(lu)產(chan)業的(de)發(fa)展做出(chu)了突出(chu)貢獻。
關鍵詞：大尺寸硅片 半導(dao)體 集成電路
背景PART 01
半(ban)導(dao)體(ti)材料作為集成(cheng)電路產(chan)業(ye)中最(zui)為重要(yao)的關(guan)鍵(jian)性原(yuan)材料，是(shi)信息安全(quan)保障的重要(yao)環(huan)節，與國(guo)家利益密切相(xiang)關(guan)。硅片作為最(zui)主要(yao)的半(ban)導(dao)體(ti)材料，伴隨我國(guo)5G通訊(xun)、人(ren)工(gong)智能、大(da)數據、自動(dong)駕駛(shi)、物聯網、工(gong)業(ye)自動(dong)化等新興產(chan)業(ye)的發(fa)展，需求量快速增長(chang)。但在高端集成(cheng)電路用硅片領(ling)域，長(chang)期被(bei)國(guo)外企業(ye)壟(long)斷，是(shi)制約我們(men)集成(cheng)電路產(chan)業(ye)發(fa)展的“卡脖子”問題。有研(yan)(yan)半(ban)導(dao)體(ti)積極響應國(guo)家戰略(lve)需求，承擔央企使命，加大(da)力度(du)創新研(yan)(yan)發(fa)，多方(fang)位產(chan)業(ye)布局(ju)，助(zhu)力我國(guo)集成(cheng)電路產(chan)業(ye)的發(fa)展。
責任行動PART 02
（一）人才培養打基礎
有(you)研半(ban)導(dao)體(ti)堅持實(shi)施創(chuang)新驅動戰(zhan)略(lve)，把人才培(pei)養作為(wei)推動企業發展(zhan)源(yuan)動力。建立由總經理(li)主管(guan)(guan)、人力資(zi)源(yuan)部門牽(qian)頭(tou)、各部門領導(dao)主抓的負責機制，按照“人盡其才，才盡其用(yong)”的工作原(yuan)則，建立一套(tao)適合公(gong)司發展(zhan)需(xu)求的人才培(pei)養、選(xuan)拔(ba)和使(shi)用(yong)的管(guan)(guan)理(li)制度。
大力(li)選拔年(nian)(nian)輕(qing)優秀的(de)(de)專(zhuan)業(ye)人員作為技(ji)(ji)(ji)術領軍人才(cai)(cai)，在(zai)資(zi)(zi)金(jin)、設備、機制方面(mian)給予(yu)充(chong)分保障，為其創(chuang)造輕(qing)松安(an)心的(de)(de)科(ke)研環境，并不(bu)定期組(zu)織去國外開展技(ji)(ji)(ji)術交(jiao)流(liu)，接觸領域內最前沿技(ji)(ji)(ji)術，使其快(kuai)速成(cheng)長，目前公(gong)司各研發團(tuan)隊負責人平均年(nian)(nian)齡不(bu)超(chao)過38歲。在(zai)培(pei)(pei)養技(ji)(ji)(ji)術領軍人才(cai)(cai)的(de)(de)同(tong)時，公(gong)司也把對(dui)注(zhu)重加(jia)強對(dui)高技(ji)(ji)(ji)能人才(cai)(cai)的(de)(de)培(pei)(pei)養，從(cong)企業(ye)戰略高度(du)，把對(dui)高技(ji)(ji)(ji)能人才(cai)(cai)的(de)(de)培(pei)(pei)養納入(ru)到企業(ye)人力(li)資(zi)(zi)源總規劃中。不(bu)斷加(jia)大對(dui)高技(ji)(ji)(ji)能人才(cai)(cai)的(de)(de)培(pei)(pei)養力(li)度(du)，建(jian)立行之有(you)效的(de)(de)激(ji)勵政策，使技(ji)(ji)(ji)能人才(cai)(cai)在(zai)薪酬、職稱(cheng)評定、職務(wu)晉升等方面(mian)和(he)專(zhuan)業(ye)人才(cai)(cai)享有(you)同(tong)等權利。
目前公(gong)司不僅(jin)擁有順(shun)義區“梧桐(tong)工程”臨空經(jing)濟高(gao)(gao)端人才(cai)(cai)、突出貢獻中青(qing)年(nian)專家(jia)、享受政府特殊貼等各類高(gao)(gao)級人才(cai)(cai)，更培(pei)養(yang)了各類高(gao)(gao)級技能人員300余人，為公(gong)司可持續發展打下堅(jian)實(shi)的人才(cai)(cai)基礎。
（二）科技創新強合作
集成電路產業(ye)作為技(ji)術密集型的高科(ke)(ke)(ke)技(ji)行業(ye)，伴隨經濟全球化的深入與發展(zhan)，科(ke)(ke)(ke)技(ji)合(he)作趨勢(shi)日益(yi)加(jia)強(qiang)。有(you)研半導體(ti)緊密對(dui)接企(qi)業(ye)需求，與國內外相(xiang)關單位加(jia)強(qiang)科(ke)(ke)(ke)技(ji)合(he)作，開展(zhan)聯合(he)攻關，對(dui)企(qi)業(ye)科(ke)(ke)(ke)技(ji)發展(zhan)、創新人才培養、科(ke)(ke)(ke)技(ji)實力提升(sheng)、產業(ye)升(sheng)級等起到了積極(ji)的促進作用。
有(you)研(yan)半導體研(yan)發團隊(dui)與大連理工(gong)大學等(deng)單位開展的(de)(de)“大尺寸硅(gui)片超精密(mi)磨(mo)削技術與裝備(bei)”項(xiang)目，經過多(duo)年(nian)(nian)的(de)(de)聯合(he)攻關，取得重大突破，成果(guo)整(zheng)體達到國(guo)(guo)際先進水平。利用該成果(guo)制造(zao)的(de)(de)硅(gui)片已供(gong)應于中(zhong)(zhong)芯(xin)國(guo)(guo)際集成電路制造(zao)（北京）有(you)限公司(si)等(deng)用戶，為“中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)芯(xin)”制造(zao)提供(gong)了有(you)力支撐。該項(xiang)目榮獲2019年(nian)(nian)國(guo)(guo)家技術發明二(er)等(deng)獎。
有(you)研半(ban)導體(ti)與(yu)日(ri)本RST公司簽訂戰略協(xie)(xie)議，雙方在技(ji)術交流和(he)人才(cai)培養(yang)(yang)等方面不斷(duan)加強合作。日(ri)本RST公司是(shi)全(quan)球最大的再(zai)生硅(gui)片制造商，擁有(you)雄厚的硅(gui)材料研發能力和(he)高水平研發人才(cai)。合作兩年(nian)來(lai)，有(you)研半(ban)導體(ti)累計派出19名中高層管理人員和(he)4名工程(cheng)技(ji)術人員前往(wang)日(ri)本進(jin)行學(xue)習交流，并在海(hai)外(wai)合作設(she)立培養(yang)(yang)基地，啟動了“優秀工程(cheng)師(shi)海(hai)外(wai)培養(yang)(yang)計劃”，簽訂長期的培訓(xun)協(xie)(xie)議。
通過國際(ji)合作，有研半導體建立了海外高層次(ci)人才(cai)(cai)和(he)工程(cheng)技(ji)術(shu)人才(cai)(cai)培養計(ji)劃，吸引招納海外高層次(ci)人才(cai)(cai)7名。同時為(wei)應對國際(ji)化(hua)需求，針對不同領域邀請(qing)相關外籍專家對技(ji)術(shu)人員(yuan)進行(xing)專項培訓，進一步拓寬(kuan)專業領域國際(ji)視野(ye)，國內技(ji)術(shu)研發人員(yuan)水平得以快速提升(sheng)。
（三）戰略布局促發展
伴隨(sui)5G通訊(xun)、人工智能(neng)(neng)、大數據等新興(xing)產(chan)業的崛起(qi)，12英寸(cun)(cun)硅片成(cheng)為國際主流(liu)半導(dao)體材料。當前，國內12英寸(cun)(cun)硅片產(chan)能(neng)(neng)遠(yuan)(yuan)遠(yuan)(yuan)不能(neng)(neng)滿足國內市場需(xu)求(qiu)，缺(que)口巨大，基(ji)本(ben)依賴進口，國家(jia)信息和產(chan)業安全不能(neng)(neng)得(de)到(dao)保障，12英寸(cun)(cun)硅片國產(chan)化問題迫在眉睫。
12英寸硅片(pian)產(chan)業(ye)資金門(men)檻(jian)、技術門(men)檻(jian)、市場門(men)檻(jian)、團隊等都要求高(gao)，風險也較大。作為國(guo)(guo)內最早開展12英寸研發和產(chan)業(ye)化(hua)的國(guo)(guo)家隊，有研半導體(ti)一(yi)直將12英寸硅片(pian)這項國(guo)(guo)家戰略難題(ti)當成自身的使(shi)命，并將其與公司未(wei)來發展緊密結合在(zai)一(yi)起(qi)。
有研半導體通過(guo)多年的(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)研發，成(cheng)功拉制(zhi)國內(nei)(nei)第1根12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)，在國內(nei)(nei)率先了(le)(le)(le)完成(cheng)55nm水平的(de)(de)12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片(pian)技(ji)(ji)術(shu)攻關(guan)，突破了(le)(le)(le)12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)生長、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)精密(mi)加工、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)外延(yan)等關(guan)鍵技(ji)(ji)術(shu)，解決(jue)了(le)(le)(le)單(dan)晶(jing)缺陷(xian)、體鐵(tie)濃度(du)、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)表(biao)面金屬污(wu)染、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)表(biao)面平整度(du)等技(ji)(ji)術(shu)難題。形成(cheng)了(le)(le)(le)具有自(zi)主知識(shi)產(chan)(chan)權的(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)布(bu)局(ju)，在硅(gui)(gui)(gui)材(cai)料領域已經建立(li)200余(yu)項專利(li)和(he)40余(yu)項標準，其中(zhong)12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片(pian)有70余(yu)項專利(li)支撐。建立(li)了(le)(le)(le)國內(nei)(nei)第一條12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片(pian)生產(chan)(chan)線(xian)，并(bing)保持中(zhong)試線(xian)連續運轉，保證每年10萬片(pian)的(de)(de)產(chan)(chan)出，產(chan)(chan)品通過(guo)了(le)(le)(le)客(ke)戶(hu)認證，為未(wei)來的(de)(de)產(chan)(chan)業化奠定了(le)(le)(le)堅實的(de)(de)基礎。
履責成效PART 03
近年來，有研半導體(ti)始終(zhong)把解決國家集(ji)成(cheng)電路(lu)產業(ye)發展(zhan)所需的(de)關鍵半導體(ti)硅材料作為企業(ye)規(gui)劃布局的(de)主要方向，并(bing)取(qu)得(de)了一系列成(cheng)效。
（一）產業化建設方面
在(zai)山東德州(zhou)布(bu)局的(de)(de)“8英(ying)寸(cun)(cun)硅(gui)(gui)片項(xiang)目”已于(yu)2019年3月開工建(jian)(jian)設(she)，2020年9月實現規模化生產(chan)，全力保障(zhang)我國(guo)集成電路用8英(ying)寸(cun)(cun)硅(gui)(gui)片的(de)(de)需求。作(zuo)為戰(zhan)(zhan)略(lve)布(bu)局的(de)(de)12英(ying)寸(cun)(cun)硅(gui)(gui)片項(xiang)目，經過多次協(xie)商，有研集團、日本(ben)RST公司和(he)山東德州(zhou)市政府達(da)成戰(zhan)(zhan)略(lve)合作(zuo)協(xie)議，在(zai)山東德州(zhou)8英(ying)寸(cun)(cun)項(xiang)目的(de)(de)基礎(chu)上共同推(tui)進(jin)12英(ying)寸(cun)(cun)硅(gui)(gui)片國(guo)產(chan)化，項(xiang)目已完成籌備(bei)，進(jin)入建(jian)(jian)設(she)階段(duan)。
有(you)研半導體8英(ying)(ying)寸和12英(ying)(ying)寸硅片項(xiang)目對(dui)完善我(wo)國(guo)(guo)(guo)硅材料產(chan)業布局(ju)具有(you)重(zhong)要的戰略(lve)意(yi)義，標志(zhi)著我(wo)國(guo)(guo)(guo)半導體硅片產(chan)業整體技術水平邁上(shang)了(le)一(yi)個(ge)新臺階。兩個(ge)項(xiang)目的建設(she)不(bu)僅擺脫大(da)尺寸硅片長期(qi)依賴(lai)進(jin)口(kou)的局(ju)面，緩解(jie)了(le)國(guo)(guo)(guo)內(nei)大(da)尺寸硅片供給側的壓力(li)，更將帶動我(wo)國(guo)(guo)(guo)多(duo)晶硅材料、石(shi)英(ying)(ying)、特殊氣體、電(dian)(dian)子化學品、設(she)備(bei)、芯片制(zhi)造等上(shang)下游產(chan)業的發(fa)展，是對(dui)我(wo)國(guo)(guo)(guo)集成電(dian)(dian)路(lu)產(chan)業鏈(lian)的有(you)力(li)補充(chong)，給我(wo)國(guo)(guo)(guo)集成電(dian)(dian)路(lu)產(chan)業的發(fa)展注入一(yi)針“強心劑”。
同(tong)時，借助(zhu)日本RST公(gong)司的(de)國(guo)際(ji)(ji)(ji)背景，打入全球集成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)業(ye)(ye)供應(ying)鏈中，參與(yu)國(guo)際(ji)(ji)(ji)競爭，全力打造大尺寸(cun)硅片的(de)國(guo)產(chan)化自主(zhu)品牌(pai)，對提(ti)(ti)高國(guo)內集成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)企(qi)業(ye)(ye)在國(guo)際(ji)(ji)(ji)的(de)話語權，提(ti)(ti)升國(guo)內集成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)產(chan)業(ye)(ye)在國(guo)際(ji)(ji)(ji)上的(de)地(di)位具(ju)有(you)重要的(de)推(tui)動和(he)促進作用。
（二）科技創新方面
有研(yan)半導體立足自主創(chuang)新(xin)，聯合國內力(li)量，利(li)用國際資源，重點(dian)開(kai)展硅(gui)及硅(gui)基材料技(ji)術開(kai)發(fa)與創(chuang)新(xin)，生產工(gong)藝升級，提升公司產品競(jing)爭力(li)。
完成(cheng)(cheng)了國(guo)家(jia)(jia)科技重(zhong)大(da)(da)(da)專項《極大(da)(da)(da)規(gui)(gui)模(mo)集成(cheng)(cheng)電路(lu)制(zhi)造(zao)裝備(bei)(bei)(bei)及(ji)成(cheng)(cheng)套工藝(yi)》中(zhong)“硅(gui)(gui)(gui)(gui)材(cai)料(liao)設備(bei)(bei)(bei)應(ying)(ying)用工程”、“200mm硅(gui)(gui)(gui)(gui)拋(pao)(pao)光片(pian)產(chan)(chan)品(pin)技術開發(fa)和(he)產(chan)(chan)業化能力(li)提升”、“90nm/300mm硅(gui)(gui)(gui)(gui)片(pian)產(chan)(chan)品(pin)競爭(zheng)力(li)提升與產(chan)(chan)業化”的驗(yan)收；以自有(you)12英寸硅(gui)(gui)(gui)(gui)片(pian)工藝(yi)為(wei)基(ji)礎，牽(qian)頭(tou)組織國(guo)內多(duo)(duo)家(jia)(jia)半導體設備(bei)(bei)(bei)廠商完成(cheng)(cheng)了國(guo)產(chan)(chan)12英寸硅(gui)(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)(jing)爐、磨削機(ji)、多(duo)(duo)線切割(ge)機(ji)、雙面拋(pao)(pao)光機(ji)、單(dan)面拋(pao)(pao)光機(ji)、退火爐的研(yan)制(zhi)和(he)驗(yan)證，相關設備(bei)(bei)(bei)已應(ying)(ying)用在實際生產(chan)(chan)中(zhong)；開展國(guo)家(jia)(jia)重(zhong)點研(yan)發(fa)計劃“超高純稀有(you)金屬(shu)材(cai)料(liao)精密制(zhi)備(bei)(bei)(bei)技術”課題的研(yan)究，確定大(da)(da)(da)規(gui)(gui)格高純硅(gui)(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)(jing)生長工藝(yi)，研(yan)發(fa)尺(chi)寸＞φ300mm，純度≥9N 的超純硅(gui)(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)(jing)環和(he)多(duo)(duo)孔(kong)電極；開發(fa)大(da)(da)(da)單(dan)晶(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)及(ji)其(qi)深加工產(chan)(chan)品(pin)、8英寸硅(gui)(gui)(gui)(gui)拋(pao)(pao)光片(pian)、區熔硅(gui)(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)(jing)及(ji)拋(pao)(pao)光片(pian)等高端產(chan)(chan)品(pin)，繼(ji)續擴大(da)(da)(da)優勢產(chan)(chan)品(pin)生產(chan)(chan)規(gui)(gui)模(mo)，優化產(chan)(chan)業結構(gou)，切實增強(qiang)市場競爭(zheng)能力(li)和(he)抗風險能力(li)。
通過國(guo)際合作，加快(kuai)了精(jing)密(mi)加工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝流程的設計及(ji)硅部件精(jing)密(mi)加工(gong)(gong)研發平臺(tai)的建設，突破(po)了多項關(guan)鍵技術難題。
（三）經濟及社會效益方面
近年來，中(zhong)美貿易(yi)摩擦嚴重，在復雜艱(jian)難的(de)(de)(de)國(guo)(guo)(guo)(guo)際(ji)環境下，有研(yan)(yan)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)積極承擔(dan)央企使命，全(quan)力保(bao)障(zhang)國(guo)(guo)(guo)(guo)內(nei)集(ji)成電路產業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)需要，并最終實現(xian)銷售(shou)和盈利(li)目標。有研(yan)(yan)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)作為(wei)業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)內(nei)唯一(yi)一(yi)家(jia)(jia)央企，在行業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)內(nei)樹立了標桿(gan)形象，是半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)行業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)協(xie)會(hui)支撐分會(hui)理事長(chang)單位(wei)，中(zhong)國(guo)(guo)(guo)(guo)有色(se)金屬(shu)學會(hui)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)材料學術委(wei)員會(hui)掛(gua)靠(kao)單位(wei)，業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)內(nei)唯一(yi)一(yi)家(jia)(jia)集(ji)國(guo)(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)企業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)技術中(zhong)心、國(guo)(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)材料工程研(yan)(yan)究中(zhong)心、國(guo)(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)技術創新示范企業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)為(wei)一(yi)身(shen)的(de)(de)(de)企業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)。公司2016-2018年連續(xu)三年獲得中(zhong)國(guo)(guo)(guo)(guo)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)行業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)協(xie)會(hui)評選的(de)(de)(de)“中(zhong)國(guo)(guo)(guo)(guo)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)十強(qiang)企業(ye)(ye)(ye)(ye)(ye)”。
展望PART 04
當前，我國(guo)經(jing)濟已(yi)由高速增(zeng)長階(jie)段(duan)轉向高質量發(fa)展階(jie)段(duan)。面對錯綜復雜(za)的國(guo)際環(huan)境(jing)，中國(guo)集成(cheng)電路(lu)產(chan)業既(ji)面臨著千載(zai)難逢的歷史機(ji)遇，又(you)面臨著差距(ju)拉大(da)的嚴峻挑戰。
有研(yan)半(ban)導體作為(wei)央企(qi)一份(fen)子(zi)，始終(zhong)以“思國之需 解(jie)國之憂”為(wei)根本出發點，時刻牢記國家賦(fu)予的(de)(de)(de)(de)歷史使命，堅(jian)持創新驅動發展(zhan)戰略(lve)，扎(zha)根集(ji)成電路用大尺寸硅材料(liao)領域，潛(qian)心研(yan)究(jiu)，為(wei)我(wo)國集(ji)成電路產業(ye)的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)提供有力的(de)(de)(de)(de)基礎支撐，爭(zheng)當新時代(dai)創新驅動發展(zhan)的(de)(de)(de)(de)排頭兵(bing)。
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