文章來源(yuan)：中國兵(bing)器工業集(ji)團(tuan)有限公(gong)司(si) 發布(bu)時(shi)間：2021-03-13
高性(xing)能(neng)耳溫(wen)槍、額溫(wen)槍等非接(jie)觸(chu)測溫(wen)工(gong)具是(shi)當前(qian)對大規模人員進(jin)行發熱(re)篩查的(de)主要(yao)工(gong)具之(zhi)一(yi)，而其核(he)心部(bu)件MEMS紅外(wai)溫(wen)度(du)傳感器長期(qi)主要(yao)依賴進(jin)口(kou)。近日，中國兵器工(gong)業集團電(dian)子院(yuan)華東(dong)光電(dian)集成器件研究所通過技術攻關，已完成傳感器芯片各類單項(xiang)試驗，性(xing)能(neng)指標精度(du)達到(dao)0.1℃，抗干擾能(neng)力優于目(mu)前(qian)市(shi)場主流產品。
針(zhen)對疫情防控、復(fu)(fu)工復(fu)(fu)產(chan)對高性(xing)能(neng)耳溫(wen)(wen)槍(qiang)和(he)額(e)溫(wen)(wen)槍(qiang)等非(fei)接觸人體(ti)測溫(wen)(wen)工具MEMS紅外(wai)傳(chuan)感器(qi)的(de)迫切需(xu)求以(yi)及用(yong)戶(hu)上(shang)百萬(wan)顆的(de)訂貨需(xu)求，中國兵器(qi)工業集團所(suo)屬東光電集成(cheng)器(qi)件研究(jiu)(jiu)所(suo)自(zi)1月(yue)(yue)底緊急調整產(chan)品(pin)研制(zhi)(zhi)計(ji)劃，提前復(fu)(fu)工復(fu)(fu)產(chan)，組(zu)建黨(dang)員(yuan)突擊隊和(he)技術攻關(guan)(guan)小組(zu)，24小時(shi)(shi)不間斷輪班開展研制(zhi)(zhi)工作，目(mu)前已完成(cheng)傳(chuan)感器(qi)芯(xin)片(pian)各類(lei)單項試驗(yan)，預計(ji)在3月(yue)(yue)底完成(cheng)芯(xin)片(pian)樣品(pin)研制(zhi)(zhi)。同(tong)時(shi)(shi)華(hua)東光電集成(cheng)器(qi)件研究(jiu)(jiu)所(suo)還采購全自(zi)動化組(zu)封裝關(guan)(guan)鍵設備、補充芯(xin)片(pian)制(zhi)(zhi)造(zao)的(de)關(guan)(guan)鍵設備，推(tui)動傳(chuan)感器(qi)芯(xin)片(pian)制(zhi)(zhi)造(zao)、組(zu)封裝的(de)國產(chan)化，月(yue)(yue)產(chan)能(neng)將(jiang)從目(mu)前的(de)2萬(wan)顆提升到100萬(wan)顆以(yi)上(shang)，4月(yue)(yue)初(chu)可大(da)量投放市場。
傳感器芯片封裝現場
作為國家發改委MEMS國家地方聯合工程實驗(yan)室和兵(bing)器(qi)工業集(ji)團微系統制(zhi)造技(ji)術創(chuang)新(xin)中心(xin)，華東(dong)光電集(ji)成器(qi)件研究所具(ju)有MEMS傳感器(qi)芯(xin)片設計、制(zhi)造、封裝、測(ce)試等(deng)完(wan)整的科研能力，通過技(ji)術創(chuang)新(xin)取得MEMS傳感器(qi)多項技(ji)術成果，下一步將(jiang)開發相關(guan)測(ce)溫(wen)產品(pin)，滿足疫情防控、復工復產等(deng)高精度人體測(ce)溫(wen)需要。
【責任編輯：王莉】
