文章(zhang)來源：中(zhong)國(guo)機械工業集(ji)團公司(si) 發(fa)布時(shi)間：2010-05-15
日前，中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表科學研究院（沈陽儀表院）自主研發的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產工藝技術”項目科研成果經專家鑒定，達到了國內領先、國際先進水平，填補了我國自主批量生產硅基壓力敏感芯片的空白。
作為(wei)壓(ya)(ya)力傳(chuan)(chuan)感(gan)器的(de)核心部件，MEMS硅基(ji)壓(ya)(ya)力敏(min)(min)感(gan)芯片(pian)是決(jue)定壓(ya)(ya)力傳(chuan)(chuan)感(gan)器性能(neng)的(de)關鍵。該項(xiang)目(mu)建(jian)立了國內(nei)惟一一條具有自主產(chan)(chan)(chan)(chan)權的(de)、采(cai)用MEMS工(gong)藝批(pi)量生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)硅基(ji)壓(ya)(ya)力敏(min)(min)感(gan)芯片(pian)的(de)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)(chan)線，年產(chan)(chan)(chan)(chan)能(neng)為(wei)150萬只芯片(pian)，并同步(bu)完成批(pi)產(chan)(chan)(chan)(chan)工(gong)藝規范及產(chan)(chan)(chan)(chan)品企業標準的(de)制定工(gong)作。該產(chan)(chan)(chan)(chan)品不(bu)僅(jin)替代進口，還配(pei)套量產(chan)(chan)(chan)(chan)了多類硅基(ji)壓(ya)(ya)力傳(chuan)(chuan)感(gan)器，可廣(guang)泛用于航空航天、石油化工(gong)、水(shui)(shui)電、冶金制造、醫藥(yao)衛生(sheng)、食品加工(gong)及城(cheng)市(shi)給排(pai)水(shui)(shui)等領域，取得了良好(hao)的(de)經濟效益(yi)和(he)社會效益(yi)，累計新增產(chan)(chan)(chan)(chan)值3500多萬元。