文章來源(yuan)：中國(guo)兵(bing)器工業集團公司 發布(bu)時間(jian)：2009-12-12
近日，從我國(guo)(guo)首條(tiao)非硅微機(ji)電(dian)中試生產(chan)(chan)線的誕生地——中國(guo)(guo)兵器工(gong)業集(ji)團山西(xi)北方(fang)惠豐機(ji)電(dian)有限(xian)公司(si)傳來喜(xi)訊，在該公司(si)和西(xi)安機(ji)電(dian)信息(xi)研究所(suo)、北京理工(gong)大學、上海交通(tong)大學等院(yuan)所(suo)的強強聯合(he)下，經(jing)過了廣大科技(ji)人(ren)員(yuan)歷時3個多月的工(gong)藝(yi)開發，試制工(gong)作取得了階段性突破，通(tong)過采用非納米技(ji)術和國(guo)(guo)際(ji)尖端的三維半導(dao)體微細加工(gong)工(gong)藝(yi)，生產(chan)(chan)出了產(chan)(chan)品(pin)樣品(pin)，填(tian)補了國(guo)(guo)內空白(bai)。
微機(ji)電(dian)系(xi)統是(shi)微米大小的(de)機(ji)械(xie)系(xi)統，包(bao)括不(bu)同形狀(zhuang)的(de)三維(wei)平(ping)板印刷產生的(de)系(xi)統，屬(shu)于國(guo)內領先(xian)、國(guo)際一(yi)流的(de)高新技術項目(mu)。非硅(gui)微機(ji)電(dian)中試(shi)生產線(xian)為(wei)國(guo)家專項投資(zi)，于2006年奠(dian)基，2007年竣(jun)工。
據悉，此次生(sheng)產試制出的樣品(pin)與原(yuan)部(bu)件(jian)(jian)相比體積縮小(xiao)了(le)七分之一，尺寸和(he)精度均(jun)達(da)到(dao)了(le)設(she)計要求，替代了(le)傳(chuan)統的機械(xie)部(bu)件(jian)(jian)，創(chuang)新了(le)設(she)計思路和(he)加工(gong)方(fang)法，實現(xian)了(le)工(gong)藝(yi)創(chuang)新的新跨越、新突破。同時，該項技術還(huan)可拓展到(dao)產品(pin)制造、汽(qi)車安全、生(sheng)物醫學等領域(yu)的高(gao)端制造，市場前景和(he)經濟效(xiao)益十分看好，是(shi)兵器工(gong)業集團(tuan)惠豐(feng)公(gong)司走出“紅海(hai)”、超越“藍海(hai)”、駛向“深海(hai)”的創(chuang)新實踐。