文章來源：中國兵器裝備集團公(gong)司 發(fa)布時間(jian)：2009-11-07
近日，中(zhong)國(guo)(guo)兵器裝(zhuang)備集(ji)團公(gong)司成(cheng)功(gong)研制(zhi)(zhi)出國(guo)(guo)內(nei)(nei)首套磁控(kong)(kong)濺射(she)(she)(she)鍍(du)膜(mo)(mo)機(ji)(ji)(ji)，填補了(le)該項目國(guo)(guo)內(nei)(nei)空白，實現(xian)了(le)高精度(du)濺射(she)(she)(she)鍍(du)膜(mo)(mo)機(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)國(guo)(guo)產(chan)化，滿足我(wo)國(guo)(guo)當前大批量、穩定(ding)鍍(du)制(zhi)(zhi)多種高品(pin)質精密光(guang)學(xue)薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)需求，為我(wo)國(guo)(guo)今(jin)后一(yi)(yi)(yi)(yi)段時期的(de)(de)(de)鍍(du)膜(mo)(mo)機(ji)(ji)(ji)研發提(ti)供了(le)方向(xiang)。該機(ji)(ji)(ji)型由(you)集(ji)團公(gong)司自主研制(zhi)(zhi)生產(chan)，具(ju)有完全自主知識產(chan)權，其技術(shu)(shu)水平處(chu)于(yu)國(guo)(guo)內(nei)(nei)領先，創造了(le)國(guo)(guo)內(nei)(nei)鍍(du)膜(mo)(mo)機(ji)(ji)(ji)研制(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)4個(ge)第一(yi)(yi)(yi)(yi)次：第一(yi)(yi)(yi)(yi)次采(cai)用(yong)(yong)(yong)磁控(kong)(kong)濺射(she)(she)(she)和(he)(he)電子(zi)蒸(zheng)鍍(du)兩(liang)套鍍(du)膜(mo)(mo)系統(tong)，將蒸(zheng)鍍(du)技術(shu)(shu)與(yu)濺射(she)(she)(she)技術(shu)(shu)在一(yi)(yi)(yi)(yi)臺機(ji)(ji)(ji)器上實現(xian)成(cheng)功(gong)覆蓋(gai)，在國(guo)(guo)內(nei)(nei)首次具(ju)備了(le)蒸(zheng)鍍(du)和(he)(he)濺射(she)(she)(she)兩(liang)種功(gong)能為一(yi)(yi)(yi)(yi)體的(de)(de)(de)兩(liang)用(yong)(yong)(yong)機(ji)(ji)(ji)型，減(jian)少了(le)設(she)(she)備的(de)(de)(de)采(cai)購成(cheng)本和(he)(he)能源消耗；第一(yi)(yi)(yi)(yi)次在真(zhen)空室(shi)的(de)(de)(de)設(she)(she)計上采(cai)用(yong)(yong)(yong)雙真(zhen)空室(shi)，有利于(yu)提(ti)高工作效率、保護靶(ba)材和(he)(he)節能降耗；第一(yi)(yi)(yi)(yi)次運用(yong)(yong)(yong)了(le)分(fen)子(zi)泵技術(shu)(shu)，使極限(xian)真(zhen)空實現(xian)一(yi)(yi)(yi)(yi)次性達標(biao)；在控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)部分(fen)第一(yi)(yi)(yi)(yi)次采(cai)用(yong)(yong)(yong)工控(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)，提(ti)高了(le)設(she)(she)備的(de)(de)(de)自動化程度(du)，避免了(le)人(ren)為因素造成(cheng)的(de)(de)(de)失誤。