文章來源(yuan)：中國冶(ye)金科工集團(tuan)有(you)限公司 發布時間：2012-12-08
12月4日，中國中冶所屬中國五冶集團有限公司承建的國內首條第5.5代低溫多晶硅TFT-LCD生產線廈門天馬微電子一標段M1主廠房工程中高大模板支撐架搭設已通過驗收。目前，近3萬立方米的華夫板混凝土陸續開始澆筑，標志著該項高級別潔凈制造廠房工程進入首戰關鍵期。
該項目位于廈門市火炬高新技術產業開發區，是國內第一條也是全球第二條第5.5代低溫多晶硅薄膜晶體管晶體管液晶顯示器生產線。該項目廠房為高級別潔凈制造廠房，其最高潔凈度要求達到100級。潔凈技術為一門新興技術，在科學實驗和工業生產活動中，產品加工的精密化及微型化要求具有一個受控塵埃粒子污染的生產環境——潔凈室。
據了(le)解，在(zai)該工(gong)(gong)程(cheng)的主體結(jie)構中(zhong)，二樓(lou)(lou)潔(jie)凈(jing)室是(shi)其最主要的部分，將采用(yong)華(hua)(hua)夫(fu)(fu)樓(lou)(lou)板，對結(jie)構采取減(jian)震及(ji)回風(feng)的作用(yong)以(yi)保(bao)證精密生產線的加工(gong)(gong)。華(hua)(hua)夫(fu)(fu)模板是(shi)一種新型復(fu)合(he)材料，是(shi)保(bao)證潔(jie)凈(jing)度的前提。華(hua)(hua)夫(fu)(fu)樓(lou)(lou)板施(shi)工(gong)(gong)技(ji)術要求高，而(er)該工(gong)(gong)程(cheng)的華(hua)(hua)夫(fu)(fu)樓(lou)(lou)板施(shi)工(gong)(gong)面積(ji)(ji)達(da)51000平方米，如此大面積(ji)(ji)的微電子工(gong)(gong)程(cheng)華(hua)(hua)夫(fu)(fu)樓(lou)(lou)板施(shi)工(gong)(gong)在(zai)國(guo)內尚(shang)沒有廣泛的施(shi)工(gong)(gong)經驗(yan)可借鑒。中(zhong)國(guo)五冶集(ji)團廈門天(tian)馬項目(mu)部在(zai)通(tong)過(guo)實踐探索模板排(pai)版、支撐架搭設及(ji)模板安裝(zhuang)、華(hua)(hua)夫(fu)(fu)板模板安裝(zhuang)、密肋(lei)梁鋼筋綁扎、混凝土澆筑、支撐架及(ji)模板拆除、華(hua)(hua)夫(fu)(fu)板清潔(jie)等工(gong)(gong)序(xu)，總結(jie)該課題的施(shi)工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝方法(fa)，嚴把施(shi)工(gong)(gong)質(zhi)量(liang)關，保(bao)證項目(mu)順利推進。