文(wen)章來源:中(zhong)國電子科技(ji)集團(tuan)公司 發布時間:2012-03-04
近日,由中國電子科技集團公司(簡稱中國電科)第45研究所承擔的國內第一臺具有完全自主知識產權的全自動引線鍵合機成功地完成了連續焊線,標志著我國微電子封裝裝備技術發展再一次取得了重大突破,該設備各項工藝技術指標完全符合“十一五”國家集成電路制造裝備重大專項(02專項)規定的指標。
長期以來,我國微電子技術后封裝環節技術密集度最高的關鍵設備——全自動引線鍵合機始終沒有取得突破,完全被發達國家所壟斷,制約了我國集成電路產業的發展。該設備的研制成功,標志著我國打破了微電子技術后封裝環節的關鍵技術瓶頸。
該設備在計算機控制、精密機械、光學、圖像處理、超聲波、溫度控制等多個領域實現了技術上的重大突破,自行編寫了龐大的軟件系統,設計開發了運動控制器等電氣系統,其中X、Y、Z向運動分別可達15G、15G、100G以上的加速度(F1賽車運動員和宇航員承受的最大加速度為5G和6G)。該項目共申請國家專利15項。
全(quan)(quan)自動(dong)引(yin)(yin)線(xian)鍵合機是(shi)微電子技術(shu)后封裝領域(yu)用量(liang)最大(da)的(de)設(she)備(全(quan)(quan)球一年(nian)約15000臺(tai),中國(guo)大(da)陸約8000臺(tai)),下一步(bu),中國(guo)電科將(jiang)通過(guo)半年(nian)到(dao)一年(nian)的(de)工藝試驗、改進(jin)、完善和(he)優化(hua)工作,實現全(quan)(quan)自動(dong)引(yin)(yin)線(xian)鍵合機商業化(hua)、產業化(hua),打破(po)此(ci)種(zhong)設(she)備長期完全(quan)(quan)依賴進(jin)口的(de)局面。