文章來源：中(zhong)國(guo)建筑材料集團公司 發布(bu)時間(jian)：2017-06-16
近日，中(zhong)國建(jian)材(cai)集團所(suo)屬中(zhong)國建(jian)材(cai)總院基(ji)(ji)于光刻用石(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃(li)基(ji)(ji)板綠色制造技術，在衢州(zhou)建(jian)成了國內首條從基(ji)(ji)板原材(cai)料制造到(dao)產(chan)(chan)品(pin)加工(gong)的成套生產(chan)(chan)線。該生產(chan)(chan)線可年產(chan)(chan)20000片(pian)4-6英(ying)寸石(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃(li)基(ji)(ji)板，打(da)破了石(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃(li)基(ji)(ji)板原材(cai)料及產(chan)(chan)品(pin)長期依(yi)賴進口的局(ju)面(mian)。
該生(sheng)產線的(de)建(jian)立(li)，是(shi)(shi)中(zhong)(zhong)國建(jian)材總院承(cheng)擔的(de)“十二五”國家科技(ji)支(zhi)撐(cheng)計劃“高性(xing)能石英玻(bo)(bo)璃(li)(li)、微晶玻(bo)(bo)璃(li)(li)等特種材料關鍵技(ji)術研(yan)發及示(shi)范”課題的(de)成果(guo)之一。石英玻(bo)(bo)璃(li)(li)基(ji)板(ban)是(shi)(shi)集成電路芯(xin)片制造工藝(yi)中(zhong)(zhong)的(de)核心(xin)器件，市場需(xu)求(qiu)量巨大。作(zuo)為石英玻(bo)(bo)璃(li)(li)基(ji)板(ban)的(de)原材料，合成石英玻(bo)(bo)璃(li)(li)具有熱(re)穩定性(xing)好(hao)、光學均勻性(xing)高、耐輻照(zhao)等諸多優點。然而，受(shou)原材料純度、均勻性(xing)及加工精度、硬脆特性(xing)等制約(yue)，我國石英玻(bo)(bo)璃(li)(li)基(ji)板(ban)長(chang)期依賴進口。
經過中國建材(cai)(cai)(cai)總院科研(yan)人員的不(bu)懈努力，最終形(xing)成了(le)(le)一(yi)套符合我國行(xing)業現狀與(yu)發展趨勢的獨有工(gong)藝路線，不(bu)但(dan)解(jie)(jie)決了(le)(le)石(shi)(shi)(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)基(ji)板(ban)原(yuan)材(cai)(cai)(cai)料的純度、均勻性難題(ti)，同時實(shi)現了(le)(le)原(yuan)材(cai)(cai)(cai)料綠色制(zhi)(zhi)造。該項(xiang)(xiang)目還引(yin)入多刀切割(ge)、安全快速(su)磨拋工(gong)藝，創造性地(di)開發了(le)(le)熔(rong)拉制(zhi)(zhi)坯、數(shu)控倒角等技術，解(jie)(jie)決了(le)(le)石(shi)(shi)(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)基(ji)板(ban)加工(gong)精度的難題(ti)。從基(ji)板(ban)原(yuan)材(cai)(cai)(cai)料制(zhi)(zhi)造到(dao)產品(pin)加工(gong)，中國建材(cai)(cai)(cai)總院形(xing)成專利20余項(xiang)(xiang)，行(xing)業標準、國軍(jun)標及(ji)國家標準10余項(xiang)(xiang)，開發出了(le)(le)多種規(gui)格的石(shi)(shi)(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)基(ji)板(ban)、晶(jing)圓、透鏡等系列(lie)產品(pin)，不(bu)僅逐(zhu)步替(ti)代進口(kou)產品(pin)，實(shi)現了(le)(le)高性能石(shi)(shi)(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)關鍵(jian)材(cai)(cai)(cai)料及(ji)制(zhi)(zhi)品(pin)的國產化(hua)，而且還出口(kou)到(dao)歐洲、日本等國。