文章來源：中國電(dian)子科技集團有限公司 發布時間(jian)：2020-02-27
近(jin)日，中國電科46所經過多(duo)年氧(yang)化(hua)鎵晶體(ti)生長(chang)技術探索(suo)，通(tong)過改進熱場結構、優化(hua)生長(chang)氣(qi)氛(fen)和晶體(ti)生長(chang)工藝，有效解決(jue)了晶體(ti)生長(chang)過程中原料分(fen)解、多(duo)晶形(xing)成(cheng)、晶體(ti)開裂(lie)等問(wen)題，采(cai)用導模法成(cheng)功制備出高質(zhi)量(liang)的4英(ying)寸(cun)氧(yang)化(hua)鎵單(dan)晶。
氧(yang)化鎵(jia)(jia)是一種新型超寬禁帶半(ban)導體(ti)材料，適用于制(zhi)(zhi)造(zao)高(gao)電(dian)流密度的(de)(de)(de)功率器(qi)(qi)件、紫外(wai)探測(ce)器(qi)(qi)、發光(guang)二(er)極管等。但(dan)由(you)于氧(yang)化鎵(jia)(jia)屬于單(dan)斜(xie)晶(jing)系，具有(you)(you)高(gao)熔(rong)點、高(gao)溫(wen)分解以(yi)及(ji)易開裂的(de)(de)(de)特性，因此(ci)，大(da)尺(chi)寸氧(yang)化鎵(jia)(jia)單(dan)晶(jing)制(zhi)(zhi)備極為困(kun)難(nan)。中國(guo)電(dian)科(ke)46所制(zhi)(zhi)備的(de)(de)(de)氧(yang)化鎵(jia)(jia)單(dan)晶(jing)的(de)(de)(de)寬度接近100mm，總(zong)長(chang)度達到250mm，可加工(gong)出(chu)4英寸晶(jing)圓(yuan)、3英寸晶(jing)圓(yuan)和(he)2英寸晶(jing)圓(yuan)。經(jing)測(ce)試，晶(jing)體(ti)具有(you)(you)很好的(de)(de)(de)結(jie)晶(jing)質量(liang)，將為國(guo)內相關器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)研制(zhi)(zhi)提供(gong)有(you)(you)力(li)支撐。
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