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航天科技九院771所成功研制抗輻射VDMOS產品

文章來源:中(zhong)國航天科技集團公司  發(fa)布(bu)時間:2018-04-12

2016年,航天科(ke)技集團九院771所(suo)新集成電路事(shi)業部全年收入(ru)超2億元,其中VDMOS(半導體場效應晶體管)單項產品(pin)收入(ru)達8400多萬元,同比增(zeng)長(chang)133%。

減(jian)虧目標(biao) 從(cong)產業(ye)化開始

771所新集(ji)成電路生(sheng)(sheng)產(chan)線投(tou)產(chan)以(yi)來,在專項(xiang)集(ji)成電路研制、開發(fa)和生(sheng)(sheng)產(chan)方面取(qu)得(de)了許多成績,但(dan)由(you)于(yu)專項(xiang)產(chan)品在種類、數量等諸多方面的限(xian)制,該條生(sheng)(sheng)產(chan)線并沒(mei)有發(fa)揮出最(zui)佳效(xiao)益,投(tou)入與產(chan)出不匹配(pei),連年虧損。

面對困難和窘境(jing),該所開始嘗試用這條生產(chan)線開發軍民兩用且市場銷量大的產(chan)品(pin),將優勢產(chan)品(pin)做大,實(shi)現產(chan)業化規(gui)模效應,提升經濟(ji)效益。

經過認真(zhen)分析,所(suo)(suo)領導決定將(jiang)VDMOS作為壯大產業的(de)主打(da)產品,達到(dao)提質(zhi)增(zeng)效、減少虧損(sun)的(de)目標。VD?MOS 產品兼有(you)雙(shuang)極晶體管和普通MOS器件(jian)的(de)優點,在功(gong)率器件(jian)市場中的(de)份額占(zhan)比達到(dao)45%。該(gai)所(suo)(suo)加大力度,重點將(jiang)VDMOS產品產業化。

模式(shi)創(chuang)新 嘗試有限產業鏈

過去,由(you)于對新集(ji)成電路(lu)生產線采(cai)用了當時(shi)比較(jiao)流(liu)行的純工藝代工模式,所(suo)里沒有(you)自(zi)己的主打產品,沒有(you)自(zi)己的研發(fa)核心(xin),規(gui)模有(you)限(xian),經濟(ji)效益受到影(ying)響。

為了(le)在經營模式(shi)(shi)(shi)上支持(chi)新集(ji)成電路生(sheng)(sheng)產(chan)線的發展,771所決定對該事業(ye)部(bu)生(sheng)(sheng)產(chan)體系進行模式(shi)(shi)(shi)創(chuang)新,實施(shi)有限產(chan)業(ye)鏈模式(shi)(shi)(shi),成立專項產(chan)品設計組,使該事業(ye)部(bu)由代(dai)工的垂直分工模式(shi)(shi)(shi)向有限產(chan)業(ye)鏈模式(shi)(shi)(shi)轉化。

這一(yi)模式與目前集成電(dian)路業(ye)界的(de)(de)發展模式不(bu)同(tong),但加強了(le)(le)設計(ji)工(gong)(gong)(gong)程師與工(gong)(gong)(gong)藝工(gong)(gong)(gong)程師的(de)(de)結合,促進了(le)(le)工(gong)(gong)(gong)藝與生產的(de)(de)融合,提高了(le)(le)產品的(de)(de)成品率,為(wei)VDMOS產業(ye)化奠(dian)定(ding)了(le)(le)基礎。

攻占高端(duan) 爭(zheng)取彎道(dao)超車

隨著(zhu)國家經濟發展(zhan)步入新常態,集成電路行業遇(yu)到(dao)了許(xu)多新問(wen)題。在民用(yong)市(shi)場(chang)上,雖然 VDMOS 產品用(yong)途(tu)廣、市(shi)場(chang)占有量(liang)大,但競爭激烈,且產品附加值低。

不(bu)(bu)過,在專項高端市場上(shang),情(qing)況大不(bu)(bu)一樣,國(guo)家大力(li)支持研制自主(zhu)可控的(de)國(guo)產高端元器件。而(er)771所是國(guo)家唯一的(de)計算(suan)機、集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)和(he)混合集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)等(deng)科研生產為一體的(de)研究(jiu)所,特(te)別是在集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)抗輻照工藝(yi)領(ling)域有(you)自己獨(du)特(te)的(de)優(you)勢和(he)特(te)長。這(zhe)些(xie)成(cheng)為771 所VDMOS 產品進(jin)入高端領(ling)域的(de)條(tiao)件。

要實現(xian)(xian)VDMOS 產品的最大效(xiao)益,走高端產品路(lu)線(xian)是實現(xian)(xian)彎道超車的最佳(jia)思路(lu)。于是,該所事(shi)業部(bu)經(jing)過反(fan)復研討,決心在抗輻射VDMOS 產品上下大功(gong)夫。

產品突破 把工藝(yi)作為重(zhong)點

在集成電路(lu)產品(pin)的(de)生產上,工藝(yi)(yi)(yi)非常重要,工藝(yi)(yi)(yi)條件限定了產品(pin)的(de)開發,影響著產品(pin)的(de)成品(pin)率,因此,抗輻(fu)射VDMOS產品(pin)成功(gong)與否的(de)關鍵在工藝(yi)(yi)(yi)。抓工藝(yi)(yi)(yi)紀(ji)律(lv),提高工藝(yi)(yi)(yi)技(ji)術(shu),也就(jiu)成了最實際的(de)工作。

為(wei)此(ci),771所強化技(ji)術狀(zhuang)態(tai)(tai)管理(li),該事業部由代(dai)工的狀(zhuang)態(tai)(tai)管理(li)模式逐漸向全(quan)壽命周期質(zhi)量管控(kong)模式轉(zhuan)型,履行產品質(zhi)量保證的主體責任,提升了(le)工藝流程文件(jian)管控(kong)等級。

該所還重點針對(dui)(dui)VDMOS工(gong)藝平(ping)臺關(guan)鍵工(gong)序加(jia)強技術管(guan)控,完成了管(guan)控措施的落實,每(mei)月(yue)對(dui)(dui)生(sheng)產線(xian)約340個工(gong)序點進行工(gong)藝穩(wen)定性監控,月(yue)平(ping)均達標率保持在99%,提升了產品(pin)的穩(wen)定生(sheng)產能力。

在研制中,771所創新(xin)性提出了抗(kang)輻射加(jia)固器件(jian)結構設計技(ji)術和特殊制造(zao)工藝,使工藝技(ji)術再上(shang)一個新(xin)臺階。工藝技(ji)術的(de)進步,形成了全產(chan)業鏈的(de)抗(kang)輻射VDMOS 產(chan)品平臺,產(chan)品在質(zhi)量、產(chan)量上(shang)也取得了重(zhong)大突破。

經過努(nu)力,771所2016年完成了44款(kuan)VDMOS 產品的開(kai)發。目前,這些產品大(da)部分已(yi)通過鑒定(ding)定(ding)型,實現批(pi)產,用于多(duo)種型號(hao)任(ren)務,創造了可(ke)觀的效益(yi)(yi)。2017年以(yi)來,該(gai)所與多(duo)家單位(wei)簽訂了VDMOS 供貨合(he)同,以(yi)期(qi)實現更高(gao)的經濟效益(yi)(yi)和社會(hui)效益(yi)(yi)。

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